干涉法利用光波干涉原理对表面粗糙度进行测量。

　　针刺描述法是用触针在被测表面上轻轻划过，以测量表面粗糙度的 Ra值。

　　车间中普遍采用比较法。用肉眼或借助放大镜，比较显微镜对被测表面的粗糙度样板进行比较；还可用手触摸，指甲划动感来判断被加工表面的粗糙度。此方法通常用于粗糙度参数较大的近似评价。

　　光切的方法是利用“光切原理”测量表面粗糙度。

　　当粗糙度仪测量工件表面粗糙度时，将传感器置于工件被测表面上，由粗糙度仪内部驱动机构驱动传感器，沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的锐利触针感觉到被测表面的粗糙度，此时触针会产生位移，这种位移会改变传感器电感线圈的电感量，从而在相敏型整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号，信号经放大和电平转换后进入数据采集系统， DSP芯片对采集到的数据进行数字滤波和参数计算，粗糙度仪测量结果在液晶显示器上读取，也可在打印机上输出，并可与 PC机通信。